ケミカルフィルタシステム「リソガード12」日本ドナルドソン

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステム

「リソガード12」は、ArF液浸露光を始めとするハイエンド半導体露光装置向けに開発された、酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用HEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。
キャビネット内にLPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ１２枚とHEPAフィルタ６枚を搭載しています。
低濃度環境下においても高い汚染物質除去性能を発揮するため、調清浄環境が要求されるプロセスの実現や光学系部品の汚染による性能低下の防止にも最適です。

【特長】
○長寿命（LPSまたはBSMmaxフィルタ搭載）
○省スペース
○低コスト（Refillプログラムによるフィルターの再生利用）

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

関連リンク - https://www.donaldson.com/ja-jp/semiconductor/

基本情報ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

【仕様】
○システム品番：KAX007890
○ケミカルフィルタ品番：P512612
○設定風量：2,600m3/hr
○寸法：幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm
○概算重量（フィルタ込）：600kg
○操作用電源：不要
○気密用圧縮空気：不要

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

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型番・ブランド名	リソガード-12／LITHOGUARD-12
用途／実績例	【用途】 ○半導体用露光装置や超清浄環境が必要とされる製造・実験設備等への空気供給ラインに設置してご使用いただけます。その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

取扱企業ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

日本ドナルドソン株式会社

各種フィルター及びフィルター関連製品の製造・販売・エンジン用フィルター　　エアフィルター、燃料フィルター、潤滑用オイルフィルター、　　油圧フィルター、排気ガス処理システム、インジケーター・集塵機（環境システム）・防水通気フィルター・テトラテックス/PTFE メンブレン・産業用プロセスフィルター　　プロセス用フィルター（マイクロフィルター）、　　コンプレッサー/ 圧縮空気用フィルタ・ケミカルフィルター・ハードディスクドライブ用フィルター・エネルギー関連用フィルター