ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ
特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。
テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。
内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が
実現できます。
基本情報特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○分解能：5nm / 10nm / 50nm / 100nm
○ストローク：30mm（※画像のステージ「FS-1030X」の場合）
※その他の仕様はお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1030X / FS-1030XY |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 |
取扱企業特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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