株式会社MSAファクトリー 半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
- 最終更新日:2014-04-07 11:08:45.0
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小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。
ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ2枚の処理能力があります。
【特徴】
○最高温度 300℃ 対応
○温度コントローラーは、専用タイプにより
プロセスの確認に必要なデータを取得(アナログ出力)できる
○バルブ動作 自動対応(レシピに合わせてプログラム可能)
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
【仕様】
○温度制御範囲:室温~300℃
○ワークサイズ:最大430×270mm
○昇温スピード:20℃/min
○圧力範囲:-100KPa(真空)~0.02MPa(N2ガス充填時)
○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート
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