株式会社MSAファクトリー
最終更新日：2014-04-07 11:09:15.0
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
基本情報半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
生産機器関連・周辺器具を中心に、現場で本当に役立つ生産機材をご提供する、株式会社MSAファクトリーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。
ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ２枚の処理能力があります。
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。
ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ２枚の処理能力があります。
【特徴】
○最高温度 300℃ 対応
○温度コントローラーは、専用タイプにより
プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる
○バルブ動作 自動対応（レシピに合わせてプログラム可能）
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」
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