株式会社MSAファクトリー ウエハホットチャック 「PH-201C」
- 最終更新日：2014-04-22 10:29:03.0
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トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。
【特徴】
○最高温度 400℃ 対応
○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能
○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能
○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え
○OEM対応
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ウエハホットチャック 「PH-201C」
【仕様】
○温度制御範囲：室温～400℃
○チャック面サイズ：φ6”mm
○温度精度：±1.5%
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カタログウエハホットチャック 「PH-201C」
取扱企業ウエハホットチャック 「PH-201C」
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数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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