ウエハホットチャック 「PH-201C」

ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。

【特徴】
○最高温度 400℃ 対応
○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能
○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能
○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え
○OEM対応

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）