株式会社MSAファクトリー
最終更新日：2014-04-22 11:25:07.0
ウエハホットチャック 「PH-201C」
基本情報ウエハホットチャック 「PH-201C」
生産機器関連・周辺器具を中心に、現場で本当に役立つ生産機材をご提供する、株式会社MSAファクトリーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。
ウエハホットチャック 「PH-201C」
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。
ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。
【特徴】
○最高温度 400℃ 対応
○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能
○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能
○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え
○OEM対応
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 ウエハホットチャック 「PH-201C」
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