アールエムテック株式会社 カフマン グリッドタイプ イオンソース
- 最終更新日：2019-09-19 14:34:35.0
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カフマン型グリッドイオンガン
RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm
DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm
The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements.
Large ion beam sources meet critical output performance for uniform coverage over wide process zones.
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※こちらのカタログは英語のカタログになります。
基本情報カフマン グリッドタイプ イオンソース
【特長】
○OptiBeamTM self-aligning optics
○Controlled neutralization
○Plasma discharge
○Modular architecture
○Inert, reactive and organic gases
○Collimated, divergent, and convergent beams
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カタログカフマン グリッドタイプ イオンソース
取扱企業カフマン グリッドタイプ イオンソース
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真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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