アールエムテック株式会社
最終更新日：2014-07-17 10:25:04.0
カフマン グリッドイオンソースアッセイ
基本情報カフマン グリッドイオンソースアッセイ
カフマン型グリッド、イオンガン、ミリング、エッチング、スパッタ、1ｃｍ、16ｃｍ、クリーニング、イオンアシスト
ＫＲＩグリッドイオンソースアッセイ一式
カフマン グリッドタイプ イオンソース
カフマン型グリッドイオンガン
RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm
DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm
The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements.
Large ion beam sources meet critical output performance for uniform coverage over wide process zones.
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取扱会社 カフマン グリッドイオンソースアッセイ
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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