小型イオンビームエッチング装置アールエムテック

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置です。

小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。
微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。

【特長】
○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング
○テーパー加工が容易
○基板表面温度８０℃以下での処理が可能
○有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要
○エンドポイントディテクター搭載可能

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関連リンク - http://www.rmtec.co.jp/products/ion-beam-01.html

基本情報小型イオンビームエッチング装置

【装置仕様概略】
○エッチング用イオンソース
→DC 11cm ION SOURCE
→SOLUS POWER SUPPLY
○真空チャンバー
→到達圧力：6.0×10-5Pa台
→動作圧力：3.0×10-2Pa台
○シングルステージ
→水冷機構
→3軸動作自転・入射角度・円弧移動
→不定形基板～Max 6inchまで選択可能
○排気系
→主排気：TMP または Cryo-pump
→粗挽き：ドライポンプまたはロータリーポンプ

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カタログ小型イオンビームエッチング装置

小型イオンビームエッチング装置

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取扱企業小型イオンビームエッチング装置

アールエムテック株式会社

真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。