アールエムテック株式会社
最終更新日：2015-12-08 17:32:38.0
小型イオンビームエッチング装置
基本情報小型イオンビームエッチング装置
DCまたはRFイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを 搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。
本装置は、イオンソースを使用して加工対象物にイオンビーム照射し、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置。Au、Pt、磁性材などを容易にエッチングすることが可能で、テーパー加工が容易に行える。また、基板表面温度80℃以下での処理が可能。有毒ガスを使用しないため排ガス処理が不要、エンドポイントディテクターを搭載可能。ユーザーの用途に合わせて、研究開発用の小型チャンバーと生産用の大型チャンバーおよび基板ステージを構築する。
小型イオンビームエッチング装置
小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。
微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。
【特長】
○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング
○テーパー加工が容易
○基板表面温度 ８０℃以下での処理が可能
○有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要
○エンドポイントディテクター搭載可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）
取扱会社 小型イオンビームエッチング装置
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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