クリーンルーム内の工程別清浄度管理にクリーンブース
クリーンルームの中で、前処理としての洗浄作業と塗布作業を行っていましたが、塗布前に異物が発見されるケースが多発していました。クリーンルームではありましたが、清浄度クラスがそれほど高くなく、洗浄後に異物である塵埃が再付着してしいました。 異物が発見された場合、再度洗浄を行わなければならず生産効率が上がらない要因になっていた為、対策を急がれていました。
問題点
1.製品への塵埃再付着が多発している。
2. クリーンルーム内清浄度はクラス100000。
3. ルーム内壁の溝や、段差にホコリ溜りが見られ、乱流も発生していると想定される。
4. 洗浄前処理工程と塗布工程を分離したい。
5. 洗浄した製品を高清浄度の状態で塗布室に持ち込みたい。
基本情報【事例紹介】クリーンルーム内の工程別清浄度管理にクリーンブース
まず工程ごとにクリーンブース化し、清浄度をクラス100まで高めることを提案しました。
クリーンブースはお客様の要望にあわせ、極力段差がなく、内壁・外壁ともにフラットにできるKAMTAアルミフレームで構築。また塗布室では熱処理も行われるので、発生熱量を計算し必要量を個別空調機からFFUを通して供給する手法を用いて温度管理を行う。
ポイント
1. 洗浄前処理室と塗布室を個別に囲い各室の清浄度をクラス100に高める。
2. アルミフレームは段差の少ないKAMATAフレームを使用。板を2重に貼ることで外壁、内壁ともにフラット。
3. 2つの工程の間に前室を設けて分離し、扉にインターロック機構を設ける。
4. FFUをインバーター制御にて風量調整し、室圧を制御する。
前室の室圧を低く設定することで、扉開口の際に各工程室に塵埃が流れ込まないようにする。
5. 塗布室内熱処理工程で発生する熱による室内温度上昇を抑える為、熱量分の温調を導入。
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