VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。
TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。
また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。
TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。
【ラインナップ】
○電子銃
○電子銃電源及びアクセサリー
○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー
○クライオトラップ TVPシリーズ
○イオンソースシステム
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基本情報成膜関連製品 TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント
【特徴】
○電子銃
→超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型
→ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまで
○電子銃電源及びアクセサリー
→3kWから20kWまで計10機種の豊富な品揃え
→スイープ電源を標準装備
○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー
→蒸着コントローラ Model 880
標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能
→膜厚/レートモニタ Model 855
制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的
○クライオトラップ TVPシリーズ
→クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる
→小さいフットプリント、速いデフロストが可能
○イオンソースシステム
→SaintechシリーズIII イオンソース
軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい
高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への
熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー
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