成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。
TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。
また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。
TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。

【ラインナップ】
○電子銃
○電子銃電源及びアクセサリー
○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー
○クライオトラップ TVPシリーズ
○イオンソースシステム

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）