ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」日本ドナルドソン

さまざまな汚染物質からレンズを保護し、更に長寿命化したケミカルフィルタ

「リソガードLPSフィルタ」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルタ」の除去性能を強化し、更なる長寿命化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。

【特長】
■さまざまな汚染物質の除去に使用可能
・酸性ガス（SO2、HCl、HBr）
・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン）
・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS）
■リソガードBSMmaxフィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現
■リソガードBSMmaxフィルタからの置き換え可能
■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能
■グローバルな販売・サービス体制

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関連リンク - https://www.donaldson.com/ja-jp/semiconductor/

基本情報ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」

【仕様】
○P515501　P515502
・適用フィルタシステム：リソガード-12
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm
・設定風量：433 ㎥/hr
・最大圧力損失：265 Pa
・概算重量：20kg

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用途／実績例	○ケミカル汚染物除去フィルターとして →半導体製造装置を始め、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中のさまざまな汚染物質の除去に最適です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

取扱企業ケミカル汚染物除去用フィルタ「リソガードLPSフィルタ」

日本ドナルドソン株式会社

各種フィルター及びフィルター関連製品の製造・販売・エンジン用フィルター　　エアフィルター、燃料フィルター、潤滑用オイルフィルター、　　油圧フィルター、排気ガス処理システム、インジケーター・集塵機（環境システム）・防水通気フィルター・テトラテックス/PTFE メンブレン・産業用プロセスフィルター　　プロセス用フィルター（マイクロフィルター）、　　コンプレッサー/ 圧縮空気用フィルタ・ケミカルフィルター・ハードディスクドライブ用フィルター・エネルギー関連用フィルター