株式会社アド・サイエンス マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置

卓上型コーティング装置「Q plusシリーズ」は、設定した条件をタッチパネルから選択するだけの操作で誰でも簡単にさまざまな試料にコーティングが可能です。
レシピの作成も簡単なフルオートのスパッターコーターは、チャンバーサイズが150mmと300mmの2サイズあり、その高さも標準の127mmとロングの214mmがあり、大きなサンプルへのコーティングができます。

基本情報マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

タッチパネル操作のフルオート多目的成膜装置です。
インサートを交換することでスパッタリング、カーボン蒸着(ロッド・ファイバー)、グロー放電と多目的に使用可能なハイブリッドモデルもございます。
多くの研究室で導入されている多目的成膜装置は操作が非常に簡単です。ターボ分子ポンプ内蔵の高真空モデルと、ロータリーポンプのみの低真空モデルから選択できます。

価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 Quorum Technologies社製
用途/実績例 SEM観察用の導電性コーティング、FIB用の保護膜作成、半導体、自動車、大学の共用機材など

ラインナップ

型番 概要
Q150 φ150mmチャンバー、ターボ分子ポンプタイプ、ロータリーポンプタイプがあります。
Q300 チャンバーサイズ φ300、 二元タイプと一元で3ターゲットタイプがあります。 ロングチャンバーもあるので大きなサンプルへのコーティングも簡単です。

カタログマグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

取扱企業マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

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