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最終更新日:2023-08-17 15:12:51.0

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  • カタログ発行日:2023/8

卓上型コーティング装置 Qシリーズ(スパッタコーター/カーボンコーター)

基本情報卓上型コーティング装置 Qシリーズ(スパッタコーター/カーボンコーター)

高性能ラボ向け卓上型コーティング(スパッタリング/カーボン蒸着)装置

Qシリーズコーターは高性能ラボ向け卓上型コーティング装置です。
タッチパネルで設定した条件をタッチパネルから選択するだけの簡単な操作で、真空引き~成膜~排気までの全工程を自動で行います。TMP内蔵の高真空仕様により、多種ターゲットに対応。膜厚計(オプション)による膜厚制御コーティング機能搭載。SEM等の試料前処理(帯電防止)、実験レベルでの電極の作成など多目的に利用できます。
マルチモデルでは、ヘッドのインサートを交換することで1台でスパッタリングとカーボン蒸着の両方が可能です。
大型/複数試料対応モデル、異なる2元のターゲットを真空保持したまま連続成膜可能なモデルなどアプリケーションに応じたラインナップがございます。

マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター 製品画像

卓上型コーティング装置「Q plusシリーズ」は、設定した条件をタッチパネルから選択するだけの操作で誰でも簡単にさまざまな試料にコーティングが可能です。
レシピの作成も簡単なフルオートのスパッターコーターは、チャンバーサイズが150mmと300mmの2サイズあり、その高さも標準の127mmとロングの214mmがあり、大きなサンプルへのコーティングができます。 (詳細を見る

取扱会社 卓上型コーティング装置 Qシリーズ(スパッタコーター/カーボンコーター)

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