リニアアクティブ除振ユニット「VAAV-S」　EMC対策タイプ昭和サイエンス

パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を発揮。小型コンプレッサーと電源さえあれば使用可能です。

リニアアクティブ除振ユニット「VAAV-S」は、独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。
荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフロアー・フィード・フォワード制御により、世界最高水準の除振性能を提供できます。

【特徴】
○優れた応答性
○空気源が少ない
○高いコストパフォーマンス

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関連リンク - http://www.ssvi.co.jp/joshin/active04.html

基本情報リニアアクティブ除振ユニット「VAAV-S」　EMC対策タイプ

【仕様】
○制御自由度　３軸６自由度
○位置精度　±1000μm
○所要空気源　0.5MPa以上　消費流量はパッシブと同等
○所要電源　AC 100V～240V　（50/60Hz）　200W
○制御方式　速度フィードバック、フロアフィードフォワード
○最大推力　水平方向： 20N　　垂直方向： 40N
　　　　　　注）4ユニット/台として使用時
○発生磁界　0.04μT以下
　　　　　　注）ユニットから150mm離れた位置での交流磁界

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用途／実績例	【用途】 ○電子顕微鏡 ○走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など ○低周波振動の大きい設置床環境の除振対策 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。