リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」　EMC対策タイプ

小型コンプレッサーと電源さえあれば使用可能。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を発揮。

【掲載内容　※詳しくはカタログをご覧ください】
リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」は、独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。
荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフロアー・フィード・フォワード制御により、世界最高水準の除振性能を提供できます。