アールエムテック株式会社 SIRIUS-O
- 最終更新日：2015-12-09 11:58:00.0
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基材を痛めずに洗浄やコーディング膜の削除を可能とした噴流加工
SIRIUS-Oは、噴流加工技術を搭載した洗浄装置です。
噴流加工とは、弾性体であるメディアを噴射し、スベリながら被加工物に
アタックすることで面ダレ・梨地などが発生しない加工技術です。
被加工物へのダメージも無く、コーティング膜のみを落とすことができるので、精密部品の洗浄などに適しています。
基本情報SIRIUS-O
◎シリウスは噴流処理後、基板厚みの変化 1μm以下を実証済み
（WA#100時 ： 厚み0.53mm→0.55mm（20μm変化）
⇒歪みやワーク変形が原因）
◎面精度も噴流処理前とほとんど変化はみられない
（WA#100時 ： 面精度Ra = 0.08→1.8まで落ちる）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 噴流加工技術を搭載した精密部品の洗浄 |
カタログSIRIUS-O
取扱企業SIRIUS-O
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真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
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