走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。

・Si デバイスの場合、1015～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある
・キャリア濃度に線形に相関した信号が得られるため、仮定のもとに定量
評価(半定量)が可能
・AFM像の取得も可能
・Si, SiC, GaN, InP, GaAs 等の各種半導体が計測可能

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取扱企業走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

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