一般財団法人材料科学技術振興財団 MST Arイオンミリング加工
- 最終更新日：2016-02-18 11:32:02.0
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Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。
基本情報Arイオンミリング加工
1．貼り合わせ
サンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。
2．切断
数mmの厚みで切り出します。
3．研磨
機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。
4．Arイオンミリング
低加速Arイオンを照射し、薄片化を行います。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・基板上薄膜の厚み評価（断面TEM観察） ・基板上薄膜の結晶粒評価（平面TEM観察） |
詳細情報Arイオンミリング加工
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カタログArイオンミリング加工
取扱企業Arイオンミリング加工
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