ウエハーの検査に好適！サブナノレベル表面の粗さ・形状を計測します
『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・
形状計測器です。
研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。
レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。
また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を
基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の
取れる計測結果を実現しました。
【特長】
■計測時間短縮
■低価格設定
■防振台不要
■非接触計測
■広範囲計測可能
■簡単操作
■高分解能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
【製品仕様】
■計測方式：光ヘテロダイン干渉計測
■高さ分解能：0.1nm
■基準高さ測定範囲：0.5～300nm
■標準移動量：X軸25mm/Y軸25mm
■光源：赤色レーザー（633nm）
■対物レンズ：倍率20x、NAO.4
■本体外形寸法：W313×D614×H428
■本体重量：約27kg
■ソフトウェア：LabVIEW
■クランプ治具：導電性PET 180×180mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | オプションにより変動しますので、お気軽にお問合せ下さい。 |
|---|---|
| 価格帯 | 500万円 ~ 1000万円 |
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ＴＮ－Ａ１・ナノ粗さ・高さ形状計測器 |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウエハーの検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
取扱企業ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
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＜事業内容＞ レーザー応用光学機器の設計・製造・販売（カタログ品/特殊品） ＜営業品目＞ ■ホルダ ミラー・レンズ・フィルター・ファイバー・レーザー ・偏光子・虹彩絞り・ピンホール・プリズム・フィルター等 ■ステージ Ｘ、ＸＹステージをはじめとする多軸に加え、回転・傾斜・ゴニオ 等 ■ベース 光学ベンチ＆キャリア・マグネット・ポール・スタンド 等 ■アクセサリ 各種ブラケット・スペーサー・プレート・微調ネジ 等 ■特注品・システム製品 お客様のご要望に応じた製品の製作等
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