ツクモ工学株式会社本社工場
最終更新日:2020-10-28 10:36:07.0
ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
『ナノセブン TN-A1』は、ウエハーの検査に適しているナノ表面粗さ・
形状計測器です。
研磨加工機の近くに設置して全数検査可能。
レーザーによる非接触型計測のため、計測対象物と接触しません。
また、光ヘテロダイン干渉法による位相差計測を採用し、光の波長を
基準としているため高さ方向分解能0.1nmが可能となり、AFMと互換性の
取れる計測結果を実現しました。
【特長】
■計測時間短縮
■低価格設定
■防振台不要
■非接触計測
■広範囲計測可能
■簡単操作
■高分解能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 ナノ表面粗さ・形状計測器『ナノセブン TN-A1』
<事業内容> レーザー応用光学機器の設計・製造・販売(カタログ品/特殊品) <営業品目> ■ホルダ: ミラー・レンズ・フィルター・ファイバー・レーザー ・偏光子・虹彩絞り・ピンホール・プリズム・フィルター等 ■ステージ: X、Y、Z軸、それらを組み合わせた多軸、回転・傾斜・ゴニオ 等の位置決めステージ ■ベース: 光学ベンチ&キャリア・マグネット・ポール・スタンド 等 ■アクセサリ: 各種ブラケット・スペーサー・プレート・微調ネジ 等 ■分析用途: 光度測定用ホルダ 等 ■特注品・システム製品: お客様のご要望に応じた製品の製作(非磁性化、測定ユニット 等)
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