【分析事例】a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si(アモルファスシリコン)中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。
Bの分析(図3)では表面側の浅い箇所に存在するため、深さ方向分解能を高めて測定を行いました。
Pの分析(図4)ではa-Si中に多量のHが存在して質量干渉を起こすため、高質量分解能法によりH+Siを分離してPのみを検出する条件で測定を行いました。

基本情報【分析事例】a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価

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