【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能

CIGS薄膜太陽電池の高性能化を目指した開発において、光吸収層の成膜プロセスの条件最適化が必要とされており、CIGS組成の組成分布の制御が重要になっています。
成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。
測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング
製品分野：太陽電池
分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査

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基本情報【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析

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用途／実績例	太陽電池の分析です。

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【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析_C0236

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