【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

ステンレス(SUS)は耐食性に優れ、様々な工業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：製造装置・部品
分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚

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基本情報【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

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【分析事例】ステンレス(SUS)不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価_C0263

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