【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不純物分布を評価した事例をご紹介します。
ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果（図2)H、O、F、S、Clなどの不純物プロファイルには深さに応じて強弱があり、ワイヤー中に局在していることが示唆されます。ワイヤー断面の元素マッピングを行った結果（図3）ワイヤー中に不純物が局在している様子を確認することができました。

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