【分析事例】パワーデバイスのドーパント及びキャリア濃度分布の評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

複合解析で活性化率に関する評価が可能

SIMSによる不純物濃度分布とSRAによるキャリア濃度分布を比較することで、ドーパントの活性化状態がわかるだけでなく、整合しない領域には未知の不純物の存在、構造的な問題の内在が示唆されます。
Profile Viewerを用いれば、お手元でSIMSのデータとSRAのデータを重ね、解析することが可能です。
一例として、市販のダイオードチップについて、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部（図1）および裏面について、SIMSとSRAを行った事例をご紹介します。

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