【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

最大70×70mm領域の組成分布評価

XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。
シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。
試料表面付着物等を俯瞰的に調査することに適しています。

基本情報【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

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用途／実績例	LSI・メモリ、電子部品、製造装置・部品、バイオテクノロジの分析です

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【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

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取扱企業【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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