外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置
ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、
多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。
処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。
ポンプもシールレス採用しています。
【特徴】
○溶剤により防爆仕様対応
○超音波は各メーカー、周波数に対応
○装置内はFFU搭載も可能
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基本情報半導体向け装置「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」
【取扱製品】
○自動洗浄装置、レジスト剥離装置
○自動洗浄装置
○クローズド純水洗浄装置
○CMP処理後スクラブ洗浄装置
○手動洗浄装置
○JET-RINCER-DRYER
○IPA-VAPOR-DRYER
○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機
○ワープ洗浄装置
○ブラシ洗浄機
○エッチングドラフト
○メッキ装置
○スピンドライヤー、スピン洗浄機
○卓上型エアーブロー
○薬液供給装置
○純水装置（ろ過装置）
○高速プレス下死点制御コントローラー
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