枚葉自動搬送式!GMR、MR HEAD用メッキ装置
当製品は、ヴァリアス社製のGMR、MR HEAD用のメッキ装置。
パーマロイ、コイル、バンプメッキ等に対応しています。
メッキ槽は、精密温度制御、ろ過循環、スキージー駆動、電源制御。
ローダー、アンローダー、WETストック可能です。
【特徴】
○薬液に対応した配管、槽、外装(PVC、PP、PVDF、PFA、PTFE)
○リンス洗浄(DIP、シャワー)
○専用治具、電極製作
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基本情報半導体向け装置「メッキ装置」
【取扱製品】
○自動洗浄装置、レジスト剥離装置
○自動洗浄装置
○クローズド純水洗浄装置
○CMP処理後スクラブ洗浄装置
○手動洗浄装置
○JET-RINCER-DRYER
○IPA-VAPOR-DRYER
○ワンサイクル式洗浄機・水切り乾燥機
○フープ洗浄装置
○ブラシ洗浄機
○エッチングドラフト
○メッキ装置
○スピンドライヤー、スピン洗浄機
○卓上型エアーブロー
○薬液供給装置
○純水装置(ろ過装置)
○高速プレス下死点制御コントローラー
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