【分析事例】定量計算における妨害ピーク除去処理一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

XPS：Ｘ線光電子分光法

XPS分析では評価に使用する光電子ピーク*以外に、他軌道からの光電子ピークや、X線励起のAugerピーク等も検出されます。元素の組み合わせによっては、これらのサブピークが目的のピークに重なって評価を妨害することがあります。
*通常、最外殻に近い内殻準位から放出された、強度の高い光電子ピークを使用します。
XPS分析の定量計算では、このような妨害ピークについて、主として以下の2方法による除去計算を行っています。
1.感度係数比を用いた除去
2.波形分離を用いた除去

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