一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価
- 最終更新日：2023-04-07 16:31:38.0
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大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。
市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。
これらの分子イオンを用いて、金属Cu表面自然酸化膜の深さ方向の状態評価が可能となりました。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品
分析目的：化学結合状態評価
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基本情報【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品の分析です |
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取扱企業【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価
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