一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析
- 最終更新日：2023-04-07 16:53:51.0
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TOF-SIMSは深さ方向に質量スペクトルの取得が可能であるため、各層の定性を行うことで非常に薄い層の成分の解析が可能です。
本事例では、ハードディスクを深さ方向に分析を行いました。その結果、表面に形成されるダイヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。
測定法：TOF-SIMS
製品分野：電子部品・製造装置・部品
分析目的：組成評価・同定・組成分布評価
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基本情報【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 電子部品・製造装置・部品の分析です |
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