【分析事例】XPS・AESによる深さ方向分析の比較一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

XPS：X線光電子分光法　AES：オージェ電子分光法

XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。
深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。
XPSとAESの深さ方向分析の特徴について、SUS不動態膜の分析を例として比較します。

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用途／実績例	LSI・メモリ・電子部品の分析です

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