各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ装置
ラボテック株式会社 の『LA-S2020』は、
対向平行円板型の2インチマグネトロン方式DCスパッタ装置です。
非導電性試料(サンプル)を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察する際の、
金属(Au/Pt etc)コーティングが可能です。
各種デバイス・センサー用薄膜電極(50nm 以下)の作製が可能なスパッタ装置です。
短時間に簡単な操作で効率の良いグロー放電が得られ粒状性に優れたスパッタ膜が作製可能です。
【特長】
■簡単な操作
■高効率
■低コスト
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
基本情報マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』
【仕様】
■スパッタ方式：マグネトロンスパッタ方式
■ターゲット：Au ターゲット(φ48mm)：標準
■スパッタ時間：0.1～5min(0.1min/step)：デジタルタイマ
■スパッタ圧力：6Pa～15Pa
■排気時間：0.1～999min(0.1min/step)：デジタルタイマ
■ガラスベルジャー：外径φ100(内径φ83)×高さ70Hmm：ガラス製
■試料台：Φ40mm：標準
■T/S 間距離：30mm～50mm：標準30mm
■真空ポンプ：直結型2 段式ロータリーポンプ10L/min 以上
■外観寸法：約290(W)×460(D)×345(H)mm
■装置質量：約15kg(ポンプ含む)
■設置電源：単相AC100V±10％ (50/60Hz) 0.5KVA
D 種接地 3P コンセント(1m)
■設置室温/湿度：25±10℃/45～85％以下(結露しないこと)
※本仕様は、性能改善のため予告なく変更されることがあります。
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。 |
カタログマグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』
取扱企業マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』
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