マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』

各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ装置

ラボテック株式会社 の『LA-S2020』は、
対向平行円板型の2インチマグネトロン方式DCスパッタ装置です。

非導電性試料(サンプル)を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察する際の、
金属(Au/Pt etc)コーティングが可能です。
各種デバイス・センサー用薄膜電極(50nm 以下)の作製が可能なスパッタ装置です。
短時間に簡単な操作で効率の良いグロー放電が得られ粒状性に優れたスパッタ膜が作製可能です。

【特長】
■簡単な操作
■高効率
■低コスト

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。