マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
スミックス株式会社は、主に光学検査装置の開発・製造・販売を行っている会
社です。
マクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・NIL・その他各検査市場に提
案し、 検査工程の効率化・高感度化を通して社会に貢献することを目的として
います。
コアとなる技術（OAS Technology）は、散乱光を利用したマクロ検査に特化
した独自光学系を採用しており、CDとの相関が高いマクロ検査が可能です。
【事業内容】
■光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ
■光学検査装置開発技術コンサルティング
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報スミックス株式会社 事業紹介
【業務内容】
■パターン：パターン均一性評価
■薄膜：高感度な膜厚均一性評価
■表面：凹凸・傷欠陥検査 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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