医療用途・光学部品に！イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマCVD装置
『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング
イオンゲージ放電形式）プラズマCVD装置です。
低温かつ高真空での処理を可能とし､硬度と平滑性に優れた
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。
他方式に比べ基板に入射するイオンの量とイオンのエネルギーをそれぞれ
独立して制御できる為、極めて広範囲な膜質の制御が可能です。
また、東製株式会社では、超硬・ステンレス･工具鋼などへのダイヤモンド状
炭素膜の優れた特長を広くご活用いただける表面処理加工も行っております。
【特長】
■低摩擦係数
■対摩耗性
■低攻撃性
■非溶着性
■絶縁性
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報DLC（ダイヤモンド状炭素）成膜装置
【仕様】
■製膜方式：PIGプラズマCVD装置
■装置設置スペース:Ｗ4000×Ｄ3000×Ｈ2700
■標準処理寸法：φ140×H600×12軸
■操作方法：全自動制御
■標準ガス：Ar、H2、C2H2、TMS、O2
■基板加熱ヒーター：標準装備
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■摺動部部品 ■切削工具・金型 ■光学部品 ■電気部品 ■医療用途 ■装飾用途 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログDLC（ダイヤモンド状炭素）成膜装置
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