DLC（ダイヤモンド状炭素）成膜装置

医療用途・光学部品に！イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマCVD装置

『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング
イオンゲージ放電形式）プラズマCVD装置です。

低温かつ高真空での処理を可能とし､硬度と平滑性に優れた
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。
他方式に比べ基板に入射するイオンの量とイオンのエネルギーをそれぞれ
独立して制御できる為、極めて広範囲な膜質の制御が可能です。

また、東製株式会社では、超硬・ステンレス･工具鋼などへのダイヤモンド状
炭素膜の優れた特長を広くご活用いただける表面処理加工も行っております。

【特長】
■低摩擦係数
■対摩耗性
■低攻撃性
■非溶着性
■絶縁性

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。