高輝度ハロゲン光源装置『YP-1501』山田光学工業

超精密平面検査に最適な高輝度ハロゲン光源装置！驚異的な照明にて0.2μm未満欠陥検出が可能です！

『YP-1501』は、半導体ウエハー及び液晶基盤の加工途中で最も人手が掛かる最終仕上げ面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の様々な欠陥検出を見るためのマイクロ観察用照明装置です。試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。また、光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく、非常に安定したシャープな照明となっています。

【特長】
■光源にハロゲンランプを採用
■試料表面を400,000Lx以上に照明することが可能
■熱の影響が従来のアルミミラーの1/3に減少
■高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることができる

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基本情報高輝度ハロゲン光源装置『YP-1501』

【仕様】
〔ランプハウス部〕
■照射径：30mmφ
■照度：400,000Lx以上
■照射距離：140mm
■使用ランプ：ダイクロイックミラー付きランプ
■ランプ型名：JCR15V150W（ウシオ）
■ランプ寿命：35～50時間
■色温度：3,400K°
■色調：白色
■環境温度：0~40℃
■冷却方式：強制ファン冷却
■接続：12φ据付用シャフト付
■寸法：100（W）×245（H)×116（D)mm
■重量：約1.7kg
〔電源部〕
■電源：AC100V　50/60Hzx
■消費電力：約200W
■点灯方式：交流点灯型
■環境温度：0~40℃
■冷却方法：自然空冷
■寸法：140（W)×94（H)×185（D)mm
■重量：約2.4kg
■その他
　・入力コード：2.0m
　・出力コード：2.5m
　・フットスイッチ
　・コード長さ：3.0ｍ

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