高輝度ハロゲン光源装置『YP-1501』

超精密平面検査に最適！驚異的な照明にて弁別闘0.2μm未満欠陥検出が可能

『YP-1501』は、半導体ウエハー及び液晶基盤の加工途中で最も人手が掛かる
最終仕上げ面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の様々な
欠陥検出を見るためのマイクロ観察用照明装置です。

試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。
また、光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが
少なく、非常に安定したシャープな照明となっています。

8inch対応として姉妹機である『YP-250I』もご用意しております。

【特長】
■光源にハロゲンランプを採用
■試料表面を400,000Lx以上に照明することが可能
■熱の影響が従来のアルミミラーの1/3に減少
■高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることができる

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。