リソテックジャパン株式会社 レジスト現像アナライザ RDAシリーズ
- 最終更新日：2022-05-20 13:15:04.0
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フォトレジスト現像速度解析評価装置
レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメータを正確に決定することができます。
基本情報レジスト現像アナライザ RDAシリーズ
【主な特徴】
●高速現像速度測定機能
●現像特性解析機能
●パラメータ計算機能
●パラメータ用データベース機能
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 現像特性解析などお気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業レジスト現像アナライザ RDAシリーズ
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微細加工プロセス用評価機器/製造装置の開発、製造、販売、輸出入、保守サービス
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