リソテックジャパン株式会社

熱・UVハイブリッド・ナノインプリント装置 LTNIP-5000

真空チャンバに対応しているナノインプリント装置！

当製品は、プレス圧20MPa/真空チャンバ対応の実験用熱・真空UV ナノインプリント装置です。プレスしながら加熱、UV照射（真空対応） を行ないます。真空ポンプ、HP冷却機能搭載している製品です。…

レジスト現像アナライザ RDAシリーズ

フォトレジスト現像速度解析評価装置

レジスト現像アナライザRDAシリーズは、フォトレジストの現像速度測定、コントラストカーブ、感度の算出などの現像特性解析が迅速に行えます。また、リソグラフィシミュレータに必要なレジストモデリングパラメー…

卓上光インプリント評価装置『LTNIP-500』

低コストで高解像性を持つ製品をご提供致します！

当製品は、自動モード離型機能搭載の実験用簡易UVナノインプリント装置 です。プレスしながらUV照射を行ないます。 モールドサイズは、25mm～40mmで、UV照度は0.5mW/cm2になってい…

自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』

知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します！

当シリーズは、研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適で…