基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機
『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。
基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。
他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。
【特長】
■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化
■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能
■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量
■ベーキング温度250℃に耐える設計
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報導入機『ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)』
【ラインアップ】
■ILD-34M
■ILD-70M
■ILD-114M
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ導入機『ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)』
取扱企業導入機『ベローズ式直進導入機 手動タイプ(ILD-M)』
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