入江工研株式会社 　導入機　製品カタログ

『磁気結合式回転導入機（MFR）』は、
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。

回転導入機の他にも、直進回転導入機をご用意しているので、
用途に合わせてお選びいただけます。
また、モーター駆動にも対応可能です。

オプションのモーター取付金具仕様にした場合、自動運転が可能です。

【特長】
■真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用
■ロストモーションが少ない設計
■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減
■磁石を取り付けたままベーキング可能
■ベアリングを交換することで、半永久的に使用できる　など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『磁気結合式直進回転導入機（MFL）』は、強力な永久磁石を用いた
磁気カップリング方式の導入機構です。

真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため
高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。

直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて
お選びいただけます。

また、モーター駆動にも対応可能です。

【特長】
■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減
■磁石を取り付けたままベーキング可能
■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能
■オプションで回転防止機構もご用意

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。

真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、
超高真空領域までご使用いただけます。

回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、
0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。

【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34,CF70を規格化
■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能
■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量
■回転ロック機構付
■開度が任意に設定可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。

基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。
また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、
お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。

【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化
■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。

基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。
他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。

【特長】
■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化
■駆動部シールに溶接ベローズを採用しているため、超高真空の領域で使用可能
■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているので、小型・軽量
■ベーキング温度250℃に耐える設計

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）