入江工研株式会社 導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

コンパクトタイプの直線導入機!基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。

基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。
また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、
お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。

【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10mm、15mm、20mmまで規格化
■当社ベローズ式直線導入機(ILDシリーズ)に比べ、非常にコンパクトな作り

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

【ラインアップ】
■ILC34-10
■ILC34-15
■ILC34-20

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

取扱企業導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

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入江工研株式会社

半導体・FPD製造装置に使用される真空用金属ベローズをはじめ、真空ゲートバルブ、真空チャンバ−、導入機など、真空装置付属機器分野で数多くの製品を提供しています。

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