コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。
基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。
また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、
お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。
【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化
■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』
【ラインアップ】
■ILC34-10
■ILC34-15
■ILC34-20
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』
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