コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。
真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、
超高真空領域までご使用いただけます。
回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、
0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。
【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、接続フランジCF34,CF70を規格化
■駆動部シールに溶接ベローズを採用することで、高真空の領域で使用可能
■機能中心に考え極めてシンプルに構成しているため、小型で軽量
■回転ロック機構付
■開度が任意に設定可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』
【ラインアップ】
■IRC-34
■IRC-70
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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