入江工研株式会社 導入機『磁気結合式直進回転導入機(MFL)』

強力なマグネットを使用!磁気カップリング式の導入機

『磁気結合式直進回転導入機(MFL)』は、強力な永久磁石を用いた
磁気カップリング方式の導入機構です。

真空内外ともにサマリウム-コバルト磁石を使用しているため
高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。

直進回転導入機の他、回転導入機もご用意しているので用途に合わせて
お選びいただけます。

また、モーター駆動にも対応可能です。

【特長】
■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減
■磁石を取り付けたままベーキング可能
■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能
■オプションで回転防止機構もご用意

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報導入機『磁気結合式直進回転導入機(MFL)』

【仕様】
■磁気結合式直進回転導入機は直進方向のストロークを3種類から選択可能

【ラインアップ】
■MFL-70
■MFL-114

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ導入機『磁気結合式直進回転導入機(MFL)』

取扱企業導入機『磁気結合式直進回転導入機(MFL)』

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入江工研株式会社

半導体・FPD製造装置に使用される真空用金属ベローズをはじめ、真空ゲートバルブ、真空チャンバ−、導入機など、真空装置付属機器分野で数多くの製品を提供しています。

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