イオン注入装置　ディスク再生サービスファーストゲート

高品質なディスク再生を低価格にてご提供するサービス

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての
バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、
Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。

ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション
ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、
元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の
不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。

部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、
これらの問題を未然に防ぐ必要があります。
高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。

【特長】
■各メーカーのイオン注入装置に対応
■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供
■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

関連リンク - http://www.fastgate.co.jp/Core/index.html

基本情報イオン注入装置　ディスク再生サービス

【対応装置】
■Varian
－ XP，E1000，VIISion，Kestrel
■SEN/Axeclis
－NV10（フルリングクランプ，２点クランプ，クランプレス）
－GSD（初期Superdiskから300mmまでの全種、Classic，UHD，VSDを含むディスク）
■AMAT
－9200，9500，xr，xrLEAP，Quantum II/III

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